クリーンユニット（ＦＦＵ）・クリーンオーブン・クリーンベンチ・クリーンブース及びエアーシャワーなどの開発はもとより、環境や省エネを考慮したトータルシステムとしての製品づくりをしております。
クリーンユニット
本クリーンユニットを使用して、清浄空間を簡便に構築できます。5㎥/min～55㎥/minまでラインナップが豊富です。
- カタログ(252kb)
エアシャワー
クリーンルームなどの清浄空間と一般室をエアロックにより分離します。自動扉式・手動扉式など、各種あります。
クリーンオーブン
清浄雰囲気中で熱処理をする為のもので、～350℃まで各種あります。
温湿度管理ユニット
最近では高度精密度化が進み、ガラス基板等の転写などのバラツキが多くなっており、湿温度をコントロールすることで問題を解消いたします。
クリーンブース
クリーンルーム環境下における装置ユニットのクリーン度を向上させるためにＳＵＳ製、アルミ製ブースを準備しております。
温度、湿度管理装置
工程の一部のみを温度、湿度もしくは両方の管理を行う装置を提供します。
連続乾燥炉
自動搬送式連続乾燥炉も多数の納入実績があります。
クリーンロッカー、パスボックス
クリーンロッカーやパスボックスも多数の納入実績があります。
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