LED,OLED等の洗浄装置、現像装置、エッチング装置、剥離装置の設計、
製造を行っています。
カラーフィルターライン
■純水洗浄装置・現像装置
液晶カラーフィルターラインの各種洗浄装置・現像装置です。優れた操作性、メンテナンス性など業界をリードするパフォーマンスを備えております。
ケース・カセット洗浄装置
近代、ガラス基板の大型化や多品種化にともない、カセットからの発塵が問題になっております。歩留向上に寄与する各種カセット洗浄装置を製作しております。
有機EL（OLED）ライン
■純水洗浄装置
有機物やパーティクルなどの汚れを高精度で洗浄し高速スループットにも対応できる精密エアナイフ乾燥を備えております。
有機EL（OLED）ライン
■現像・ITO/CRエッチング装置
高精度なシール性、メンテナンス性及び操作性によりランニングコストを低減、省スペース設計、高生産性を実現しています。
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