半導体の製造技術は高品質・高集積・大容量化が進む中、
半導体製造装置にも更なる高処理能力が求められています。

ウエハ洗浄装置

4"、6"、8"と多種多様なお客様のニーズに対応しております。

カセットレスウエハ洗浄装置

8"、12"に対応した全自動の洗浄装置を供給させていただいております。

精密部品洗浄装置

お客様の要望に応じた工程や製品にあったものを供給させていただいております。

薬液供給装置

洗浄・現像など、あらゆる薬液に対応しております。

主な洗浄装置

手動・自動ウエハ洗浄装置
カセットレスウエハ洗浄装置
ウエハエッチング装置
レジスト剥離装置
マスク洗浄装置（ディップ式）
石英管洗浄装置
ケース・カセット洗浄装置
ドラム洗浄装置

治具・部品洗浄装置
IPA蒸気乾燥装置
スピンドライヤ
真空乾燥装置
薬液自動供給装置
薬液循環濾過装置
有機溶剤回収再生装置
液晶基板洗浄装置
スライダー洗浄装置